漢鐘PS602螺桿真空泵維修

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉子特點：

1、結構簡單，故障率低，成本較低，易維修

2、高壓段功耗相對低，適用于高負載應用場合

3、排氣路徑短，減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程

PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真空泵型號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快能耗可降低30%以上

氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統，能使用在無冷卻水的系統環境

可提供符合ATEX標準的產品

變螺距螺桿轉子特點：

1，運行溫度低，適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場合。                

2，運轉功耗低，適用于輕負載應用場合，更節能。                        

3，運行噪音更低，適用于運行噪音低的場合，如：貼合機，無塵室。

4，相同長度轉子，抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。

壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鐘PS系列、PD系列維修

維修步驟：1、螺桿泵來料檢驗，真空度、運行時間、振動值、驅動器、電氣參數。

2、全部拆卸，油污清潔，打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件，如：軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪，以確?？煽康膬炠|服務和泵浦使用壽命。

4、泵的平衡，利用平衡和分析設備，調試佳的狀態，以減少噪音、振動，延長軸承壽命。

5、測試檢查，參照原廠參數檢測，結合客人實際要求與螺桿泵磨損

PMF半導體干凈系列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF系列型號有PMF100，PMF120，PMF612

特點 Features

    低的電能消耗

          Lowest Power Consumption

    節能模式的應用降低整體功耗

    Idle saving mode applied to save total power Consumption

    體積小，重量輕

    Small size，light weight and easy installation

    節省了安裝空間

    Saving space for installation site

    半導體干凈制程的佳選擇

    Best choice for semiconductor light processes

漢鐘PS602螺桿真空泵維修